YYVIP易游怡然传感申请温度传感器铂薄膜层制备方法专利提高铂薄膜层的附着力和稳定性

　　YYVIP易游·(中国有限公司)官方网站国家知识产权局信息显示，滁州怡然传感技术研究院有限公司申请一项名为“一种温度传感器的铂薄膜层的制备方法”的专利，公开号CN121226052A，申请日期为2024年5月。

　　专利摘要显示，本发明公开了一种温度传感器的铂薄膜层的制备方法，包括清洗单面抛光的陶瓷基底，将纯度为99.99%以上的铂靶材和单面抛光的陶瓷基底放置到磁控溅射沉积腔体内，当腔体内线Pa以下时，向腔体内通入氩气，调节腔体内气压为0.5Pa，调节铂靶材与陶瓷基底之间的距离为60mm，开启射频电源，调节射频电源功率为100W，在陶瓷基底上沉积铂薄膜层，沉积时间为30min，沉积结束后，将沉积有铂薄膜层的陶瓷基底在真空条件下进行退火处理，退火温度为600℃，退火时间为60min，退火结束后，随炉冷却至室温，得到铂薄膜层。本发明制备方法简单，制备的铂薄膜层纯度高，与陶瓷基底的附着力强，稳定性好，适用于制备高精度温度传感器。

　　天眼查资料显示，滁州怡然传感技术研究院有限公司，成立于2020年，位于滁州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本10万人民币。通过天眼查大数据分析，滁州怡然传感技术研究院有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1次，专利信息37条，此外企业还拥有行政许可1个。

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